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激光干涉儀

技術(shù)參數(shù):
系統(tǒng)精度:±0.5ppm(0~40 ℃整個工作環(huán)境范圍)
激光穩(wěn)頻精度:±0.05ppm
分辨率:0.001um
測量速度:4.0m/sec
采樣頻率:50KHz
測量范圍:0-80metres
預(yù)熱時間:~6分鐘

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